Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления

Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок.Цель лабораторного практикума - приобретение студентами теоретических знании и практических навыков но напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетрон но го распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки дня эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40. исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок.
Лабораторный практикум предназначен дтя студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» но программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».